O2和CO2混合气氛原位反应制备氧化锆膜层的研究

摘要

采用气固相反应法在氢化锆表面制备氧化锆膜层.对氧化膜的氧化增重、物相组成和表面形貌进行了研究.结果表明,氢化锆在550℃下氧气与二氧化碳不同体积比的氧化气氛中恒温氧化20h后,形成氧化膜的氧化增重随氧化气氛中氧气含量的升高而增大;各气氛中形成氧化膜的物相组成基本相同,膜层主要由单斜相氧化锆M-ZrO2和四方相氧化锆T-ZrO2组成,并以单斜相氧化锆M-ZrO2为主.氢化锆在氧气与二氧化碳体积比为1∶1时可得到连续的氧化锆膜层,且膜层表面平整性较好.