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光学干涉技术在精密测量领域的最新研发成果及应用

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报告介绍了两款深圳市中图仪器股份有限公司近年自主研发生产并推广应用的光学精密测量仪器:激光干涉仪和光学3D表面轮廓仪,激光干涉仪广泛应用于数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等.

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来源
《2017全国第十三届精密工程学术研讨会暨精密机械分会理事会七届一次会议》|2017年|77|共1页
会议地点上海
作者

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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光学计量仪器;
关键词
光学精密测量仪器; 激光干涉仪; 光学三维表面轮廓仪; 定位精度;

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