Er-Y共掺杂的硅基Al2O3纳米层状结构电致发光器件

摘要

稀土Er3+离子掺杂的硅基Al2O3氧化物具有良好的热稳定性并且在红外1530光纤通讯波段具有优异的光增益性质,因此在硅基光电子器件领域具有重要的应用价值.但是由于Er3+离子在Al2O3中掺杂固溶度较低(约1018/cm3限制了器件发光效率和强度的进一步提升).为了提高Er3+离子的浓度掺杂,本文采用原子层沉积技术制备Al2O3(Y2O3-Er2O3-Y2O3)纳米层状复合结构,制备了高效率的硅基MOS结构电致发光器件,并研究了其电致发光性质.