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建立一种准确测定氢气、氖气和氩气三元混合气的分析方法

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介绍了利用热导气相色谱分析仪测定氢气、氖气和氩气的三元混合气中各组分含量的分析方法,该方法能够满足电子芯片保护气产品质量检测的要求.

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来源
《2013年全国冶金企业制氧专业年会》|2013年|38-40|共3页
会议地点承德
作者
谢程;
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作者单位

全国冶金动力信息网;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类色谱仪;
关键词
热导气相色谱分析仪; 三元混合气; 组分含量; 测定方法;
入库时间 2022-08-17 10:39:50

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