基于LTPS制程工艺的LCD/OLED显示用玻璃基板发展综述

摘要

随着显示行业高端消费品的发展要求,LTPS成了目前显示领域炙手可热的先进技术,但是由于国外技术封锁,国内全部依赖进口,因而必须自主研发,提升综合竞争力.本文基于平板显示最新发展动态和研发热点,综述了高分辨率LCD/OLED显示产品所用LTPS制程工艺种类与特点,以及LTPS制程工艺对玻璃基板的理化性能要求,其中玻璃基板耐热性、热膨胀系数、紫外透过率、弹性模量是十分关键的技术指标;论述了溢流法生产工艺和浮法生产工艺所生产LTPS玻璃基板优势与劣势;总结了美国和日本开发满足LTPS制程工艺的玻璃基板产品状况;讲述了中国尚未形成技术和产业突破,亟须加大对LTPS制程工艺的玻璃基板的研发投入和产业探索的现状.