光学检漏方法检测可靠性研究

摘要

先进光学检漏技术利用电子全息技术实现对电子元器件内部泄漏的粗检漏与细检漏,其检测原理是通过测量器件封装表面的微小形变同时完成对内部泄漏情况的粗检与细检分析.本文从检测原理分析、仪器设备组成、现有应用情况及未来应用前景、检测试验、结果验证等方面对光学检漏方法的检测可靠性进行分析验证,从理论分析、实际应用、结果比对等方面分析其检测适用性、准确性及检测优势与不足.