绒面形貌对金刚线切割多晶硅电池性能影响研究

摘要

研究阐明：金刚线切割硅片制绒方式多样，成本和后续与其他高效技术叠加的潜力都应成为评价制绒工艺的重要指标；无论是MACE还是RIE，都还未达到由于比表面积过大而影响少子寿命的程度，表面修饰/洁净度更为重要；黑硅技术潜力——MACE少子寿命+RIE反射率。