多晶硅流化床法颗粒壁面沉积规律与控制的数值研究

摘要

流化床法目前需要解决几个方面技术问题，包括硅烷异相沉积在壁面上造成原料损失及传热效率降低,甚至增加爆炸风险;沉积过程各个环节都可能会引入杂质;形成机理尚有争议,硅粉形成易造成管道阻塞,原料损失;流态化控制不好易导致大气泡及节涌现象产生,降低流态化稳定性并导致大量硅粉生成.