电子气体系统技术应用现状和发展趋势

摘要

论述了电子气体输送系统的各种技术现状和特点,指出大宗普通气体多采用现场制气(On-site或工业园区管道(Pipeline)集中供应方式，并就高纯度;大流量;严格的安全措施和大力降低建设成本四个方面预测了其发展趋势。