顶喷式薄化技术在设备国产化中的应用

摘要

液晶面板薄化技术主要采用化学和物理方式,而薄化行业技术主流已形成以化学方式为主,物理方式研磨抛光为辅的趋势.本文介绍的薄化成套设备根据化学原理,采用顶部喷淋式的蚀刻减薄技术,结合了喷淋式和瀑布流式的优点,蚀刻液喷雾对液晶面板玻璃的蚀刻均匀,加工后的液晶面板表面更加平整、光洁,相比传统的研磨式、浸泡式技术有着明显优势,同时提升了减薄效率和自动化程度,降低了生产成本,提高了液晶面板的表面质量,推进了面板减薄行业设备的国产化.