TiAlCNO涂层组织结构和对Al2O3涂层结构和性能的影响

摘要

MT-TiCN/α-Al2O3多层涂层是高性能硬质合金CVD涂层刀具的典型涂层结构,得到广泛的应用和研究.TiAlCNO过渡层可以改善MT-TiCN/α-Al2O3涂层之间的结合性能.通过改变沉积气氛氧化势,制备了不同成分的TiAlCNO涂层和MT-TiCN/TiAlCNO/Al2O3多层涂层,研究了沉积气氛氧化势对TiAlCNO涂层和MT-TiCN/TiAlCNO/Al2O3多层涂层的组织结构和物理性能的影响.结果表明:当沉积气氛中有CO2时,沉积TiAlCNO涂层中可以检测到α-Al2O3相;随沉积气氛中CO2的增加,TiAlCNO涂层中的Al含量增加,沉积在TiAlCNO涂层表面的α-Al2O3涂层织构降低,结合强度增加.当TiAlCNO沉积气氛中CO2由0LPM增加到1LPM时,Al2O3涂层的TC(113)由0.64增加到1.33,而TC(012)由2.07降到1.5,TC(110)由1.99降到0.97;划痕临界载荷LC1由36.5N增加到51.7N.