在PZT系压电陶瓷基体上复合类金刚石薄膜

摘要

该文用射频等离子化学气相沉积（ＲＦＣＶＤ）方法，在ＰｂＴｉＯ〈，３〉ＰＺＴ陶瓷基片表面沉积类金刚石（ＤＬＣ）膜。