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在Ni片上制备YSZ/CeO2阻挡层和YBCO超导膜

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摘要

该文用平面靶射频磁控溅射在具有双轴织构的Ni片上外延生长CeO2和YSZ薄膜作为阻挡层，X一射线衍射φ扫描分析表明CeO2和YSZ薄膜具有强的C轴织构和较好的平面内双轴织构。用中空柱状靶直流磁控溅射在阻挡层上制各YBCO超导薄膜。在2cm波带测量了YBCO的表面电阻和谐振腔有载Ql值

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来源
《第四届全国超导薄膜和超导电子学器件学术会议》|1998年|8-12|共5页
会议地点合肥
作者
石东奇; 王素玉;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体技术;
关键词
YBCO超导薄膜;

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