阴极弧离子镀磁过滤器

摘要

在真空阴极弧离子镀的过程中，在阴极材料表面形成的阴极斑点处电流密度很大，斑点温度很高，发射出来的物质中包含有很大宏观粒子团(MP's:macroparticles)，曲线型结构两种，该文介绍了MP's的形成机理，各种磁过滤器的基本结构作工作原理，并着重介绍90°弯曲弧磁过滤器的特点及离子分布规律。最后，概括介绍了阴极弧离子镀磁过滤器适用范围。