NiO-Li<,2>O厚膜湿敏材料的特性研究

摘要

纯化学计量比的ＮｉＯ是一种绝缘材料，电阻率高达１０〈’１３〉Ω·ｃｍ，不能直接用来制作感湿材料，当掺入Ｌｉ〈，２〉Ｏ时，可以有效地降低材料的电阻率。该文对掺ＬｉＯ〈，２〉的ＮｉＯ材料的半导体机理进行了讨论。用半导化后的ＮｉＯ材料制成厚膜湿敏元件，具有良好的湿敏特性。该文对厚膜湿敏元件的感湿特性、响应特性、电压特性等进行了测试分析。