多重拖动分子泵的原理、性能、应用及其发展方向

摘要

新一代拖动分子泵￣多重拖动分子泵具有结构简单、工作压强和抽气流量比传统涡轮分子泵高２个数量级、粘滞损耗较低、并可制造抽速２万升／秒以上的超大型分子泵等一系列优点，预期在各种真空应用领域中将会获得广泛的应用。