纳米碳化硅薄膜的结构特征及光致发光

摘要

用热丝化学汽相淀积法（ＨＦＣＶＤ）在衬底温度为６００°Ｃ时制备具有纳米晶体结构的碳化硅薄膜。用ＸＰＳ、ＸＲＤ、拉曼撒射和ＨＲＴＥＭ等手段分析证明了薄膜样品的纳米晶体结构特征，光荧光测试表明这种材料在室温下具有较强的可见光发射，其光荧光谱的主峰能量接近２．２ｅＶ。