IGBT表面结构工程发展浅析

摘要

为优化IGBT内部载流子分布,改善器件开通导通压降与关断损耗的制约,本文介绍了2005-2013年间ISPSD会议发表的具有代表性的IGBT表面工程新结构,特别是在目前国内IGBT相关背面、薄片工艺和设备配套和购买困难,以及受到国外相关技术专利限制的条件下,提高同业者对IGBT表面结构工程研发的重视,更具有极其重要的现实启发和借鉴意义.

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