5kW40kHz等离子发生电源的研制

摘要

论述了5kW40kHz等离子体发生电源的工作原理和研制方案,利用本研制设备,可极大改进我所聚四氟乙烯印制板过孔加工以及聚四氟乙烯、聚酰亚胺薄膜表面粘接工艺中材料表面活化技术.

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