,N<'+>,Ar<,+>等多种束流的引出电极合适的几何参数,并综合气耗、束流强度等因素设计了用于5.5MeV静电加速器高频离子源的引出电极.理论计算和实验表明了该设计方法的有效性.'/> 静电加速器高频离子源引出电极的光学设计-卢超余增亮詹福如-中文会议【掌桥科研】
首页> 中文会议>中国真空学会薄膜技术学术交流会 >静电加速器高频离子源引出电极的光学设计

静电加速器高频离子源引出电极的光学设计

摘要

高频离子源管道式引出电极的几何参数对束流引出具有重要影响.本文通过建立束流最佳引出数学模型,对引出电极的几何参数进行了离子光学计算,确定了适合引出H<'+>,N<'+>,Ar<,+>等多种束流的引出电极合适的几何参数,并综合气耗、束流强度等因素设计了用于5.5MeV静电加速器高频离子源的引出电极.理论计算和实验表明了该设计方法的有效性.

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号