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α-200台阶仪重复性和再现性研究

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本文研究了α-200台阶仪测试系统重复性和再现性(R&R).详细介绍了R&R分析的统计方法,样本的制备,测试方案及测试结果,还就结果进行了讨论.

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来源
《第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会》|2001年|364-366|共3页
会议地点成都
作者
付玉霞; 刘志弘; 张伟; 仲涛; 郭英姿; 夏苏; 林发永;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP216.1;
关键词
台阶仪; 重复性; 再现性; 测试系统分析; 分辨率;
入库时间 2022-08-17 10:20:48

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