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北京同步辐射装置(BSRF)的LIGA技术研究

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LIGA技术是微加工技术的一个重要手段,有着其它技术所不能够相比的优越性能.BSRE自1993年起开展了这项技术的研究工作,经历了近十年的研究,在许多方面都取得了突破性的进展,在很多领域已经表现出良好的应用前景.本文全面和系统地介绍了BSRF的LIGA技术最新研究成果,并欢迎广大同仁利用这一技术,制造出先进的微器件.

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来源
《第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会》|2001年|168-171|共4页
会议地点成都
作者
伊福廷; 彭良强; 张菊芳; 韩勇;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光刻、掩膜;
关键词
LIGA; 光刻技术; 同步辐射; 深度光刻; 掩模;

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