等离子法制备氮化铝粉末原料的研究

摘要

本文以金属铝粉和氮气为原料通过直流电弧等离子法制备氮化铝粉末,经羧酸与盐酸混酸在常温超声条件化学纯化后,X衍射分析表明:制备出纯度高的氮化铝粉末;样品SEM照片显示:处理后AlN粉末粒度为2～5μm存有少量氮化铝晶须。