二氧化铈薄膜材料的制备及其摩擦学性能研究

摘要

利用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了CeO<,2>薄膜材料,考察了其摩擦磨损性能;并采用扫描电子显微镜、原子力显微镜和X射线光电子能谱仪分析了薄膜的形貌和组成.结果表明:在室温、干摩擦条件下,CeO<,2>薄膜与GCr15钢球对摩时显示出良好的抗磨减摩性能.但随着负荷的增大,薄膜的耐磨寿命降低,摩擦系数增大.在低负荷条件下,CeO<,2>薄膜呈现出轻微塑性变形迹象;而在较高负荷下呈现微断裂和剥落特征.