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空气动力学试验中的压阻压力传感器

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本文简要介绍了作者用MEMS技术发展的几种适用于空气动力学试验研究的压阻压力传感器,包括小型、微型化、微量程及高温压力传感器.

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来源
《全国空气动力测控技术交流会》|2002年|196-198|共3页
会议地点黄山
作者
王文襄; 王晋林; 吴斌; 王麦广;
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作者单位

中国空气动力学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类实验设备;
关键词
微机械加工; 压阻压力传感器; 空气动力学; 实验设备;

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