循环水精密温控系统的热结构设计研究

摘要

本文对用于光刻机投影物镜温度控制的热交换循环水恒温系统进行了设计研究.该系统由加热水箱、制冷模块、循环管路系统、PID控制器构成.为实现超精度水温控制,采用半导体制冷模块和加热水箱共同作为温控执行器,对其进行热-流耦合仿真分析并优化相关结构参数.最后搭建试验样机,模拟物镜热负载进行循环水温度控制实验,实验结果表明该系统稳定且热响应速度快,循环水温度响应曲线最终达到设定温度并在±0.01℃范围内波动.