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溅射太阳选择性吸收涂层的生产自动化

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本文对单圆柱靶磁控溅射系统的控制进行了研究,并在选择性吸收涂层大规模的生产中,采用现场总线技术,实现太阳选择性吸收涂层的生产自动化,保证质量,降低成本,提高大规模生产的效率.

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来源
《2003年中国太阳能学会学术年会》|2003年|438-442|共5页
会议地点上海
作者
唐轩; 郑世民; 谭锐;
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作者单位

中国太阳能学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类太阳能转换装置和设备;
关键词
太阳选择性吸收涂层; 磁控溅射系统; 现场总线; 太阳能集热管;
入库时间 2022-08-17 11:08:21

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