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电子信息材料晶体生长问题

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众多电子信息材料晶体,都采用直拉法,从熔体中生长.本文探讨了生长大直径晶体中出现的几个问题.特别是在具有一定过冷度和向熔体空间引入磁感应强度条件下,对晶体生长过程中有关环境相的研究,不但具有学术意义,而且具有重要的实用价值.

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来源
《第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会》|2003年|12-15|共4页
会议地点深圳
作者
徐岳生; 王海云; 刘彩池; 孙卫忠;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类材料;
关键词
电子信息材料; 晶体生长; 直拉法;

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