首页> 中文会议>第二届全国信息获取与处理学术会议 >测量Fabry-Perot标准具平面度的一种新方法

测量Fabry-Perot标准具平面度的一种新方法

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

介绍了一种测量Fabry-Perot标准具平面度的新方法.通过测量F-P干涉环的直径计算出Fabry-Perot标准具的平面度,测量的不确定度可达λ/1800.

著录项

来源
《第二届全国信息获取与处理学术会议》|2004年|62-63|共2页
会议地点大连
作者
翟超; 伊藤进一;
展开▼
作者单位

中国仪器仪表学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TH744.3;
关键词
Fabry-Perot; 平面度; 不确定度; 干涉仪;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 测量Fabry-Perot标准具平面度的一种新方法 [J] . 翟超 ,伊藤进一 . 仪器仪表学报 . 2004,第z1期
2. 小零件平面度误差测量的一种新方法 [J] . 王萍 ,谢驰 ,廖世鹏 . 工具技术 . 2004,第6期
3. 一种用轮廓仪测量平面度误差的新方法 [J] . 廖渝 ,李成贵 . 计量与测试技术 . 1998,第003期
4. 一种在线测量平面度误差的新方法 [J] . 郝群 ,刘巽尔 ,王信义 . 计测技术 . 1996,第004期
5. 精密大平面平面度测量的一种新方法——衍射平面基准法的研究 [J] . 施杰 ,严慎 ,薛秉源 . 磨床与磨削 . 1993,第3期
6. 基于测量平台的一种新型光电式平面度测量仪 [C] . 祝世平 ,房建成 ,周锐 . 第六届全国敏感元件与传感器学术会议 . 1999
7. FabrY-Perot标准具的多普勒测风激光雷达脉冲锁频方法研究 [A] . 张伟 . 2013

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号