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雷红; 张鹏珍;
全国高等学校制造自动化研究会;
化学机械抛光; 集成电路; 计算机硬盘;
机译:化学机械抛光技术在超精加中的应用
机译:化学机械抛光技术在超精加工中的应用
机译:使用化学机械抛光(CMP)的新型亚微米间隙制造技术:在横向场发射器件(FED)中的应用
机译:3-D延伸化学机械抛光,用于纳米结构应用在替代技术上的应用
机译:量化聚合物表面化学和机械改性的技术的发展:在化学机械抛光中的应用
机译:化学机械抛光实施后化学机械抛光对钛植入物表面性质的影响FT-IR和钛植入物表面的润湿性数据
机译:化学机械抛光的三维扩展,用于替代技术的纳米结构应用
机译:化学机械抛光在表面微加工设备平面化中的应用
机译:半导体IC制造技术在化学机械抛光过程中用于焊盘修整的修整头的制造中的应用
机译:化学机械抛光工艺中的化学机械抛光技术和终点检测方法
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