LBO晶体上ZrO2薄膜的显微结构和光学性质

摘要

本文用电子束蒸发方法在三种不同取向的三硼酸锂(LiB3O5,简称LBO)晶体上沉积了ZrO2薄膜.采用分光光度计和X射线衍射技术对LBO晶体基底结构对薄膜光学性质和显微结构的影响进行了研究.实验结果表明:基底结构对薄膜的显微结构和光学性质具有明显影响,即X-LBO,Y-LBO和Z-LBO上沉积的ZrO2薄膜分别沿m(-212),m(021)和o(130)择优生长,且m(021)择优取向的ZrO2薄膜具有最高的折射率和最小的晶格不匹配.