CVD金刚石核探测材料与器件

摘要

金刚石膜因其优异的电学、光学等性能已成为优越的辐射探测器材料,但探测器性能强烈地依赖于薄膜质量.本工作利用热丝化学气相沉积(HFCVD)法获得了(100)取向不同质量的金刚石薄膜,并制备了CVD金刚石辐射探测器.应用5.9keV55FeX射线测试了探测器的光电流响应和脉冲高度分布.50kV/cm外电场作用下晶粒为10μm的CVD金刚石探测器的暗电流和光电流分别为16.3和16.8nA.光电流随辐照时间延长而增大,尔后趋于稳定.脉冲高度峰与噪声明显分离.探测器具有较高的计数效率和信噪比.