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微通道板技术

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本文针对军用夜视仪中的关键部件微通道板,简述了微通道板的基本原理,讨论了微通道板传统加工工艺的优缺点,并结合MEMS技术的发展,说明了新型工艺在加工中的优势,最后阐述了目前我国微通道板与世界强国之间的差距.

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来源
《中国兵工学会第十二届测试技术学术年会》|2004年|29-32|共4页
会议地点北海
作者
石云波; 郭涛; 刘俊;
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作者单位

中国兵工学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 T22;
关键词
微通道板; 深槽刻蚀; 微机电; 电子倍增器;
入库时间 2022-08-17 11:03:28

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