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T300扫描电镜物镜光阑加热电路故障与维修

摘要

为了防止物镜光阑污染,T300扫描电镜在高真空状态下,物镜光阑加热电路给物镜光阑加热,以免造成其污染.由于观察样品时,电子束通过物镜光阑孔,因此要求物镜光阑加热电路保持稳定输出电流和电压,否则将会造成图像不稳.本文对当放大倍率超过1000倍时,图像发生抖动的原因进行了分析及处理.

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