微机电系统双压电薄膜压力传感器

摘要

使用压电薄膜(PZT)制造微机电系统传感器具有结构简单、灵敏度较高的特点,所以其研究受到了很大的关注.本文研究了一种在硅基上铺设单层压电薄膜的梁式压力传感器.在这个模型中考虑了薄膜的几何尺寸和弹性性能,对该结构用有限元进行了模态分析,然后又推倒出压力传感器解析方程.这个方程给出了电荷和压力之间的定量关系,在此基础上,还给出了灵敏度的计算研究表明这种简单结构便于制造,可靠性强,可以承受比较大的压力P.