纳米硅量子点的自组织形成及其量子效应

摘要

用减压气相淀积法(LPCVD)，在二氧化硅以及石英基板上自组织形成了高密度的(～1011cm-2)纳米尺寸的半球状硅单晶粒(硅量子点)，并进一步利用自组织生成的硅量了形成具有悬浮栅极的MOS单元，验证了硅量子点的量子效应。