有机掺铒光波导放大器的研究进展

摘要

本文介绍有机光波导放大器的基本原理；介绍有机光波导放大器的最新研究进展，包括波导材料（聚甲基丙烯酸甲酯和双酚A环氧树脂共聚物和配合物）、增益特性以及制作工艺；最后给出反应离子刻蚀工艺步骤并制作出了光波导器件。