梳状一维位置敏感探测器（PSD)的研制

摘要

本文分析了梳状一维PSD 的工作机理，以及和条状一维PSD 相比它所具有的高线性度、高准确度的优点。此外，本文还提出了梳状一维PSD 的设计原理，制作工艺以及测试结果。采用IC 工艺技术所制作的梳状一维PSD 显示了良好的光电性能，优越的位置线性度和准确度。测试表明，本文所研制的PSD 器件在反偏10V 时的暗电流约为3 nA，波长950 nm 处的峰值灵敏度为0.48 A/W，位置非线性度在0.1 ﹪左右。