一种可控曲面光栅的研制

摘要

本文提出一种曲面变间距光栅的制作方法,首先在平面基片上制作光栅,再利用一种特殊材料(PDMS)将光栅转移到曲面上,避开了直接在曲面上进行光栅制作的步骤,且所制光栅性能稳定,光栅质量好.文中对所研制的曲面光栅进行了实验验证,并利用环境扫描电镜检测了光栅的线密度分布。