大曲率球面计算全息图的制作研究

摘要

凸非球面检测问题一直是限制其应用的主要瓶颈,在凹球面上制作出计算全息图,通过设计使其衍射面与待检凸非球面一致,可实现凸非球面的检测.我们已成功地采用激光直写光刻工艺直接在口径球面样板上制作了计算全息图,用于凸非球面的检测.但是参考球面的曲率较小且刻画条纹数也较少.而在一些检测应用中经常需要大曲率的球面样板,这对激光直写光刻制作计算全息图来说,是一个新的挑战和尝试.量化了用于检测凸非球面的球面计算全息图样板,给出了球面计算全息图样板的位相结构,利用极坐标激光直写系统在大曲率球面上制作了球面计算全息图,环带线宽误差10﹪以内,实验检测结果表明球面计算全息图的制作精度满足了设计要求。