二维精密测试转台系统的设计

摘要

本文介绍了一种二维精密转台系统的设计方案和技术特点.针对该转台高精度的特点,详细阐述了所采用的双电机消隙方式和数字控制策略,并论证该方案的可行性和有效性.

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