大口镜主镜柔性支撑设计

摘要

柔性支承有结构紧凑,无摩擦,无间隙,以及高分辨率等特点,在纳米级机床等高精度、高带宽仪器中起着决定性的作用.以往大口径主镜轴向支撑一般采用球副,但这种结构有其自身缺点,本文用柔性铰链代替以往的半运动副作为主镜的轴向支撑,分析了柔性支撑与半运动副支撑结构间的差异和优缺点.