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光学相移技术

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本文简要综述了相移技术的原理及应用.介绍了相移技术在光刻技术的应用.叙述了两种相移干涉仪的结构及应用;在数字全息技术中消除零级项,提高全息像的空间频率;相移技术用于频闪测量进行了微机器(MEMS)动态测量.

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来源
《2005年全国光电技术学术交流会暨第十七届全国红外科学技术交流会》|2005年|203-222|共20页
会议地点苏州
作者
张以谟; 张红霞; 贾大功; 井文才;
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作者单位

中国宇航学会;

中国光学学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

中国兵工学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光刻、掩膜;
关键词
光学相移; 干涉仪; 光刻; 全息;

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