石墨坩埚Si-SiO2-SiC抗氧化涂层的试验研究

摘要

以石墨、白刚玉、矾土熟料、α-Al2O3为主要原料制备了石墨坩埚基体,将基体置于密闭的耐火材料匣钵中并用Si颗粒包埋,经1600℃1h烧成获得具有Si-SiO2-SiC涂层的石墨坩埚试样.试验发现:在高温及缺氧气氛条件下,烧后石墨坩埚试样基体的表面反应形成了Si-SiO2-SiC表面涂层,反应过程的体积膨胀效应提高了表面涂层的密实度.随氧化试验时间的延长,试样表面的Si不断氧化形成了连续密实的SiO2膜层,因此赋予试样优良的抗氧化性能.在涂层与基体的结合部位为富含SiC的过度连接层,在涂层的外表面为SiO2的表面膜层,涂层为具有良好抗热震性能的功能梯度涂层.