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电沉积在MEMS加工技术中的应用

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摘要

在非硅材料三维微加工技术中,基于电化学原理的微加工工艺发挥着关键作用,高深宽比微结构一次性微电铸成型和复杂金属微结构的叠层制作是最具代表性的典型工艺,借助它们可以直接制备各种三维微结构,而且可以通过模具复制工艺达到批量加工的目的.

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来源
《2005年上海市电镀与表面精饰学术年会》|2005年|135-141|共7页
会议地点上海
作者
丁桂甫; 汪红; 戴旭涵; 赵小林; 姚锦元; 张丛春;
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作者单位

中国电子学会;

上市电镀协会;

中国表面工程技术协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体集成电路（固体电路）;电镀工业;
关键词
电沉积法; 微电子技术; 电化学原理; MEMS技术;
入库时间 2022-08-17 10:46:27

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