半导体工业的挥发性有机废气净化技术

摘要

近年来,已陆续有数十家海外集成电路生产制造商在中国大陆建立生产基地,我国集成电路产品的生产规模和技术水平快速发展进步.半导体集成电路生产工艺流程中使用了多种化学药品,其中有无机的,也有有机的.其中使用的光刻胶、剥离液等有机药品中都含有挥发性有机溶剂;另外设备、工器具等的清洗也使用挥发性有机溶剂.同时,不同的工艺流程产生的有机溶剂的种类和数量也不同,不同的溶剂采用的处理方案也不同.因此在设备的选型时,技术人员必须在对本工厂生产工艺进行了解之后再确定选择合适的处理装置.本文即根据作者多年来的工作经验和资料积累,通过对有机废气处理方法及设备的分析比较,总结了处理半导体行业有机废气的各种处理方法的特点和在选择中应当注意的方面.