激光衍射法在精细金属丝直径测量中的应用

摘要

本文描述了激光衍射法的基本原理、应用特点,并与其它激光测试法如激光扫描法、激光投影法的特性加以比较.对于超微细线,激光衍射测径仪具有明显的优势,其性能稳定,测量下限可达5 μm,可重复性最低可达0.01 μm,在线测量时不受细线振动的影响.