几何量微纳米级精密测量技术研究的若干新进展

摘要

介绍了几何量测量领域中微纳米精密测量技术和装置的研究新成果,涉及到一维微纳米级长度和尺寸测量、二维微纳米级坐标测量、三维微坐标测量以及三维微观表面测量。详细介绍了微纳米技术研究中所应用的关键技术的特点、目前的测量水平和能力,提供了最新技术的应用实例.并根据目前微纳米技术的发展状况,从科研和产业两个角度讨论了新型几何量计量仪器的发展和研究趋势.