石英摆片性能测试和分析

摘要

石英挠性加速度计主要用于惯性导航系统，核心元件是由石英玻璃加工而成的石英摆片。利用"摆片几何参数测试系统"和"摆片频率测试系统"测得摆片挠性梁厚度、下摆量、振动频率等数据,分析挠性梁尺寸和表面缺陷对摆片下摆量、振动频率等性能的影响.建立了挠性梁厚度、摆片下摆量和自振频率的关系,根据公式进行挠性梁厚度设计;挠性梁上的表面缺陷会造成摆片下摆量比理论分析值大0.27mm;增强挠性梁厚度一致性可显著降低摆片扭振频率,当厚度差从11.3μm降低到1.7μm时,扭振频率从279Hz降低到207Hz,减小26％.通过本文的研究,为高性能石英摆片加工奠定基础.