平行板气体挤压膜的动力学分析

摘要

本文给出了气体挤压膜悬浮平台的力学模型，并对气体挤压膜进行了动力学分析。从非线性雷诺方程出发，建立平面气体挤压理论模型，用差分法进行数值分析。分析了在谐振挤压运动周期内挤压膜的性能变化情况，并将数值解与解析解进行比较，得到气膜力、刚度、阻尼及最小膜厚与半径、振荡频率等参数的关系。